Cilindru rotativ din titan

Este o componentă utilizată în procesele de depunere fizică în vapori (PVD), care este o metodă de depunere a peliculelor subțiri de material pe un substrat. Ținta tubului de titan este realizată din titan pur și are forma unui cilindru care se rotește în timpul procesului PVD.

Procesul PVD funcționează prin utilizarea unui arc electric sau pulverizare cu magnetron pentru a vaporiza materialul țintă, în acest caz, titanul, și pentru a-l depune sub formă de peliculă subțire pe un substrat. Ținta cilindrului rotativ permite o depunere mai uniformă a filmului de titan pe substrat.

Beneficiile utilizării în procesele PVD includ puritatea ridicată a filmului depus, rata mare de depunere și aderența îmbunătățită a filmului. Țintele rotative din titan pentru pulverizarea cu magnetron sunt realizate din material de titan de înaltă calitate și sunt proiectate pentru a rezista la temperaturi ridicate și solicitări mecanice în timpul procesului PVD.

Specificații Introducere

Tip de dimensiune normală:

Avantajul nostru

Țintele de titan pe care le furnizăm au ​​granule mici, distribuție uniformă, puritate ridicată, puține incluziuni și puritate ridicată. Filmul TiN depus este utilizat în decorațiuni, scule, semiconductori și alte domenii, cu o bună aderență, acoperire uniformă și culori strălucitoare.

--Puritate

Pentru a produce o țintă calificată de pulverizare cu titan, puritatea este unul dintre indicatorii importanți de performanță. Puritatea țintei de titan are o mare influență asupra performanței acoperirii prin pulverizare. Cu cât este mai mare puritatea țintei de titan, cu atât mai puține particule de element de impuritate în filmul de titan pulverizat, rezultând o performanță mai bună a acoperirii PVD, inclusiv o rezistență mai bună la coroziune și proprietăți electrice și optice. Cu toate acestea, în aplicațiile practice, țintele de titan pentru diferite scopuri au cerințe diferite pentru puritate. Materialul țintă este folosit ca sursă catodică în pulverizare, iar elementele de impurități și incluziunile de porozitate din material sunt principalele surse de poluare ale filmului depus. Incluziunile de porozitate vor fi în principiu îndepărtate în timpul testării nedistructive a lingoului, iar incluziunile de porozitate care nu sunt îndepărtate vor provoca descărcarea în timpul procesului de pulverizare, afectând astfel calitatea filmului; conținutul de elemente de impurități poate fi reflectat numai în rezultatele testelor analizei complete a elementelor, cu cât conținutul total de impurități este mai mic, cu atât puritatea țintei de titan este mai mare.

--Densitate

Densitatea este, de asemenea, un factor important în măsurarea calității țintelor de titan. Pentru a reduce porozitatea solidului țintă și pentru a îmbunătăți performanța filmului pulverizat, ținta este de obicei necesară să aibă o densitate mai mare.

Densitatea țintei afectează nu numai viteza de pulverizare, ci și proprietățile electrice și optice ale filmului. Cu cât densitatea țintei este mai mare, cu atât performanța filmului este mai bună. În plus, creșterea densității și rezistenței țintei permite țintei să reziste mai bine la stresul termic în timpul pulverizării. Densitatea este, de asemenea, unul dintre indicatorii cheie de performanță ai țintei.

--Dimensiunea particulelor și distribuția acesteia

De obicei, țintele de pulverizare sunt structuri policristaline cu dimensiuni ale granulelor de ordinul câțiva micrometri până la câțiva milimetri. Pentru aceeași țintă, cu cât dimensiunea particulei țintei este mai mică, cu atât viteza de pulverizare a țintei este mai rapidă; în plus, ținta cu o diferență de dimensiune mai mică a particulelor poate pulveriza o peliculă cu o grosime mai uniformă. Studiul a constatat că, dacă dimensiunea granulelor țintei de titan este controlată sub 100 μm, iar variația dimensiunii granulelor este menținută la 20%, calitatea filmului pulverizat poate fi mult îmbunătățită.

--orientarea cristalografică

Titanul are o structură hexagonală compactă. Deoarece atomii țintei de titan sunt ușor pulverizați de-a lungul direcției hexagonale strânse a atomilor în timpul pulverizării, pentru a obține o rată de pulverizare mai mare, structura cristalină a țintei poate fi schimbată prin schimbarea metodei. pentru a crește viteza de pulverizare. Direcția cristalografică a țintei de titan are, de asemenea, o mare influență asupra uniformității grosimii filmului pulverizat.

--Uniformitate structurală

Uniformitatea structurală este, de asemenea, unul dintre indicatorii importanți pentru a examina calitatea țintei. Pentru țintele de titan, sunt necesare nu numai planul de pulverizare al țintei, ci și compoziția direcției normale, orientarea granulelor și uniformitatea dimensiunii medii a granulelor a planului de pulverizare. Numai în acest fel, ținta de titan poate obține o peliculă de titan cu grosime uniformă, calitate fiabilă și mărime consistentă a granulelor în același timp pe durata duratei sale de viață.

Cazul cu specificații

Viteza de rotație: ținta ar trebui să fie capabilă să se rotească la viteze de până la câteva mii de rpm pentru a obține o rată de depunere mai uniformă și pentru a prelungi durata de viață a țintei.

Răcire: ținta tubului de titan ar trebui să fie răcită cu apă pentru a disipa căldura generată în timpul procesului de depunere și pentru a preveni deteriorarea țintei.
Placă de sprijin: o placă de suport din titan este de obicei utilizată pentru a susține ținta cilindrului rotativ și pentru a asigura contact electric.
Metoda de lipire: ținta este de obicei legată de placa de suport folosind lipirea prin difuzie sau alte metode de legătură de înaltă rezistență pentru a asigura o bună conductivitate termică și electrică.
Puritate: Țintele rotative de titan pentru pulverizarea cu magnetron ar trebui să aibă un nivel ridicat de puritate pentru a minimiza impuritățile din filmele depuse și pentru a asigura performanță constantă. Nivelul de impurități trebuie să fie mai mic de 1000 părți per milion (ppm) pentru majoritatea aplicațiilor.

În general, specificațiile țintei unui cilindru rotativ de titan vor varia în funcție de cerințele specifice ale aplicației, iar ținta poate fi personalizată pentru a satisface aceste nevoi.

Tag-uri populare: Ținte rotative de titan pentru pulverizare cu magnetron, țintă cu tub de titan